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Bi-Polar ESC

ESC 작동 원리

ESC 작동 원리
-두 전극을 하나의 BODY에 공존하도록 제작하여 Power Supply를 통한 고전압을 인가하면 대상물을 쉽게 Holding이 가능함
-기존의 Mono Polar 타입과는 달리 단순한 정전기의 인력작용 뿐만 아니라, 두 극의 전기장 형성을 통한 Chucking Force가 발생한다.
- 또한, Bi-Polar 타입의 경우 대기와 진공 두가지 환경에서 모두 사용 가능하며, 부분적인 수리를 통하여 반영구적으로 사용가능 함
    (세라믹 코팅 ESC의 경우만 가능함)

Bi-Polar ESC Application

Bi-Polar ESC Application - OLED 증착시 Glass 기판을 정전기력을 이용하여 증착함으로써, 고성능의 패널양산과 높은 수율을 갖도록 함 Bi-Polar ESC Application - 메탈, 세라믹등의 TFT(Thin Film Transistor) 구성을 위한 증착공정의 기판(Glass Substrate)을 정전기력으로 Holding 할 수 있음.
- 디스플레이 패널과 LCD기판의 모듈화 공정중 진공에서 기판을 잡을 수 있는 용도로 사용함.
-진공이나 대기상태에서 평판의 물체(도체나 부도체)나 필름등 거의 모든 상태의 물체를 Holding이 가능함

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