(주)이에스티

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정전기력을 통한 유전체
분극 현상으로 피대상물을 Chucking

- PI(Polyimide) chuck
- 세라믹 소결 Chuck
- 세라믹 용사코팅 Chuck

진공에선 사용불가

물리적인 Chuck을 통한 생산 Loss 발생

온도 변화에 취약하여 적용 제약이 많음

피대상물이 자성체일 경우만 가능함

[ 진공환경 및 대면적 ESC는 세라믹 용사코팅이 유일한 방법 ]

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