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기존 Plasma Spray의 고비용 단가에 대응하고자 저온 소결세라믹 코팅(S-Coating)을 개발
(출원 번호 10-2016-0058526 정전척의 제조방법)

장점	단점
- 조직의 기공이 없고 매우 치밀함 - 고전압의 절연특성이 매우 뛰어남 - 코팅 작업시간이 짧아 제작기간 단축에 용이함 - 용사코팅의 Alumina 코팅의 유전율보다 다소 높아 Chucking Force에 다소 유리함	- 재료 특성상 고진공에서 Out-gasing이 발생함 - Micro Hardness Hv80~100 으로 경도가 낮음

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